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離子濺射儀的原理常見故障及解決措施

發(fā)布者:fwq    來源:上海仰光電子科技有限公司     發(fā)布時(shí)間:2024-1-19

 離子濺射儀的原理常見故障及解決措施

離子濺射儀的原理常見故障及解決措施
一,離子濺射儀常見故障:
 1.使用一段時(shí)間后,濺射電流變。簩(duì)靶材有無變色、破裂和油污等現(xiàn)進(jìn)行檢查,若是靶材變色或破裂,要對(duì)靶材進(jìn)行更換;若是有油污,則用無水乙醇進(jìn)行清潔,等到干了以后才能夠抽真空;

 2.在使用一段時(shí)間以后,有著過低的真空:檢查濺射室中或管道內(nèi)是否有油,可以使用汽油進(jìn)行清洗;

 3.濺射電流不穩(wěn)定忽高忽低:陰極罩與靶的固定環(huán)有著過近的距離,將陰極罩逆時(shí)針旋轉(zhuǎn),對(duì)間距進(jìn)行調(diào)整;

 4.過低的真空:將放氣閥、漏氣閥和觀察泵的油窗液面旋緊;

 5.真空泵出現(xiàn)反油現(xiàn)象:機(jī)械真空泵長期保持極限真空。

二,離子濺射儀抽不上真空的故障

 1.首先檢查真空泵排除基本可控情況,聽真空泵的聲音是否異常,如無異常檢查真空泵引線和電磁閥引線的插頭處是否連接正常,插頭里的排針有誤脫落或者接觸不良。檢查真空泵的與真空管道的連接,管道應(yīng)于真空泵的進(jìn)氣口連接,不要誤接到排氣口。

2.檢查上蓋和玻璃鐘罩是否放端正,玻璃鐘罩和下底盤的邊緣基本平齊,上蓋和鐘罩不能有錯(cuò)位。真空管道與儀器接口處的卡箍或者喉箍是否卡緊。開機(jī),如果真空表還是沒有走動(dòng),請(qǐng)立即關(guān)機(jī)。繼續(xù)做排除工作。

3.用kF16的盲堵配合KF16的橡膠圈(沒有可用橡皮塞代替),將儀器下底盤的真空排氣口堵住,開機(jī),觀察真空表是否走動(dòng)。

 三、真空表打表

1.真空表向左或者向右打表,可以拆開前面板,找到一個(gè)白色8芯插座,看插座是否接觸不良。如果仍然打表,可將真空規(guī)管的黑色插頭拔掉,看是否打表。

 四,真空忽高忽低

 1.將真空室里的樣品取出,并清理真空室,空機(jī)試一次。



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